25aL-8 金属クラスターを凝縮核とする自己形成マスクを用いたナノ構造のエッチング加工
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1999-09-03
著者
-
多田 哲也
産総研次世代半導体研究センター
-
金山 敏彦
産総研ナノ電子デバイス研究センター:筑波大学数理物質科学研究科
-
金山 敏彦
産総研次世代半導体
-
多田 哲也
産業技術総合研究所
-
多田 哲也
JRCAT-NAIR
-
金山 敏彦
JRCAT-NAIR
-
金山 敏彦
JRCAT-AIST
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