金属クラスターを用いたシリコンナノ円柱の加工とフォトニック結晶の作製
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概要
著者
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多田 哲也
産総研次世代半導体研究センター
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金山 敏彦
産業技術総合研究所
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金山 敏彦
産総研次世代半導体
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多田 哲也
産業技術総合研究所
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ポボロッチ ウラジミールV.
産業技術総合研究所
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金山 敏彦
産業技術総合研 次世代半導体研究セ
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