金属クラスターを形成核とするナノ構造のエッチング加工
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概要
著者
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多田 哲也
産総研次世代半導体研究センター
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金山 敏彦
産総研ナノ電子デバイス研究センター:筑波大学数理物質科学研究科
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金山 敏彦
産総研次世代半導体
-
金山 敏彦
アトムテクノロジー研究体 産業技術総合領域研究所
-
古賀 健司
産業技術融合領域研
-
古賀 健司
産業技術融合領域研究所
-
多田 哲也
産業技術総合研究所
-
多田 哲也
アトムテクノロジー研究体, 産業技術融合領域研究所
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