SiおよびSi化合物表面からのSiクラスタ-の熱脱離(I)-Si表面上でのSiクラスタ-の自発的形成とTa表面上での解離-
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概要
著者
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金山 敏彦
アトムテクノロジー研究体 産業技術総合領域研究所
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田中 英行
アトムテクノロジー研究体, オングストロームテクノロジ研究機構
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田中 英行
アトムテクノロジー研究体 オングストロームテクノロジ研究機構
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