SiおよびSi化合物表面からのSiクラスターの熱脱離(II) - Siクラスターと弱く相互作用するSi安定化グラファイト表面とSiC表面 -
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概要
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- 2000-10-20
著者
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金山 敏彦
アトムテクノロジー研究体 産業技術総合領域研究所
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田中 英行
アトムテクノロジー研究体, オングストロームテクノロジ研究機構
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田中 英行
アトムテクノロジー研究体 オングストロームテクノロジ研究機構
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