27pWN-7 多重極イオントラップ装置を用いたクラスター成長(イオン源,イオントラップ,新領域)
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2005-03-04
著者
-
内田 紀行
産総研ナノ電子デバイス研究センター
-
木村 薫
東京大学大学院新領域創成科学研究科
-
金山 敏彦
産総研・ナノ電子デバイス研究センター
-
金山 敏彦
産総研ナノ電子デバイス研究センター:筑波大学数理物質科学研究科
-
金山 敏彦
産総研次世代半導体研究センター
-
正知 晃
東大・新領域
-
金山 敏彦
半導体miraiプロジェクト 産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター
-
内田 紀行
度総研一次世代半導体研究センター
-
金山 敏彦
度総研一次世代半導体研究センター
-
正 知晃
東京大学大学院新領域
-
三吉 佑治
東京大学大学院新領域
-
木村 薫
東京大学大学院工学系研究科材料学
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