25p-YE-3 水素化シリコンクラスターの輸送・堆積。
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1998-09-05
著者
-
木村 薫
東大工
-
内田 紀行
産総研ナノ電子デバイス研究センター
-
渡辺 美代子
アトムテクノロジー研究体-オングストロームテクノロジー研究機構
-
金山 敏彦
産総研ナノ電子デバイス研究センター:筑波大学数理物質科学研究科
-
金山 敏彦
産総研次世代半導体
-
金山 敏彦
JRCAT-NAIR
-
渡辺 美代子
アトムテクノロジー研究体(atp)
-
渡辺 美代子
JRCAT(ATP)
-
内田 紀行
JRCAT(融合研)
-
金山 敏彦
JRCAT-AIST
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