26pWD-4 金属内包シリコンクラスターイオンの成長とシリコン衷面への堆積(26pWD クラスター・表面ナノ構造,領域9(表面・界面,結晶成長分野))
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 2002-03-01
著者
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金山 敏彦
JRCAT-NAIR
-
Bolotov L.
JRCAT(ATP)
-
内田 紀行
JRCAT(融合研)
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内田 紀行
JRCAT-AIST
-
宮崎 剛英
AIST
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金山 敏彦
JRCAT-AIST
-
Bolotov L.
JRCAT-ATP
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