6pPSB-12 Si(100)-(2x1)清浄表面上におけるドーパントのSTM観察(表面界面結晶成長,領域9)
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 2002-08-13
著者
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西澤 正泰
半導体MIRAI産業技術総合研究所次世代半導体研究センター
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Bolotov L.
:次世代半導体-産総研
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西澤 正泰
MIRAI Project
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井藤 浩志
MIRAI Project
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Bolotov L.
MIRAI Project
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金山 敏彦
MIRAI Project
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西澤 正泰
:次世代半導体-産総研
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