トランジスタ構造の立体化 : 縦型MOSトランジスタの高密度メモリーへの可能性

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2006-09-10

著者

• 遠藤 哲郎

  東北大学 電気通信研究所

• 遠藤 哲郎

  明治大学理工学部電子通信工学科

• 遠藤 哲郎

  東北大学 学際科学国際高等研究センター

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