微細MOSFETデバイスの試作に用いる電子線描画に関する研究
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-11-19
著者
-
遠藤 哲郎
東北大学 電気通信研究所
-
片岡 耕太郎
通信・放送機構仙台リサーチセンター
-
藤原 郁夫
通信・放送機構仙台リサーチセンター
-
林田 茂樹
通信・放送機構仙台リサーチセンター
-
小倉 孝之
通信・放送機構仙台リサーチセンター
-
梅谷 正人
通信・放送機構仙台リサーチセンター
-
田辺 昭
通信・放送機構仙台リサーチセンター
-
桜庭 弘
通信・放送機構仙台リサーチセンター
-
遠藤 哲郎
通信・放送機構仙台リサーチセンター
-
舛岡 富士雄
通信・放送機構仙台リサーチセンター
-
田辺 昭
通信・放送機構 仙台リサーチセンター
-
片岡 耕太郎
通信・放送機構 仙台リサーチセンター
-
藤原 郁夫
通信・放送機構 仙台リサーチセンター
-
小倉 孝之
通信・放送機構仙台リサーチセンター : シャープ(株)基盤技術研究所
-
梅谷 正人
通信・放送機構 仙台リサーチセンター
-
林田 茂樹
通信・放送機構 仙台リサーチセンター:(現)シャープ株式会社
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