穴埋めめっきに用いるCuめっき添加剤のメカニズム第3報-開口寸法の影響
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概要
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トレンチ底部からのめっき析出促進効果について,トレンチの破面観察およびトレンチ底部のみに電極を有するパターン電極を用いた電流電位測定を行い解析した。破面観察よりSPS(Bis(3-sulfopropyl)disulfide)はトレンチ底部からのめっき析出を促進する効果があることが明らかとなった。この促進効果は時間とともに急激に増大する時間依存性がある。開口寸法を変化させたパターン電極を作製した。このパターン電極を用いた電流電位測定では,添加剤SPSが存在する場合,開口寸法が狭いと電流密度が大きく増加する。この増大はSPSと関連しためっき析出促進物質のトレンチ内部での蓄積に起因すると考えられる。
- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2003-03-01
著者
-
近藤 和夫
岡山大学工学部
-
田中 善之助
岡山大学工学部
-
田中 善之助
岡山大学工学部物質応用化学科
-
岡村 拓治
岡山大学工学部物質応用化学科
-
近藤 和夫
大阪府大 大学院工学研究科
-
田中 善之助
岡山大 工
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