沿面コロナ放電CVDで合成したAlN微粒子中の不純物酸素の熱処理除去における添加剤効果
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概要
著者
-
篠原 邦夫
北海道大学大学院工学研究科物質工学専攻
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大山 恭史
産業技術総合研究所
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篠原 邦夫
Division Of Materials Science And Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
近藤 和夫
北海道大学工学部物質工学専攻
-
篠原 邦夫
北海道大学
-
千葉 繁生
産業技術総合研究所
-
大山 恭史
北海道工業技術研究所
-
千葉 繁生
北海道工業技術研究所
-
近藤 和夫
大阪府大 大学院工学研究科
-
播磨 和幸
北海道大学工学部物質工学専攻
-
播磨 和幸
北海道大学工学部 合成化学工学科
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