沿面コロナ放電CVDによるAIN微粒子の合成

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概要

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沿面コロナ放電を反応の励起源に利用して, 塩化アルミニウム (AICI<SUB>3</SUB>) とアンモニア (NH<SUB>3</SUB>) との気相反応から窒化アルミニウム (AIN) 微粒子を合成した.生成粒子はほぼ球形で滑らかな表面を有する非晶質粒子であった.<BR>平均粒子径<I>d</I><SUB>av</SUB>はAICI<SUB>3</SUB>の初期濃度とともに増加し, 濃度の0.4乗に比例した.<I>d</I><SUB>av</SUB>の値は所定のガス平均滞留時間<I>t</I><SUB>R</SUB>で208〜431nmの範囲であった.また, 粒子径に対する滞留時間の影響には, <I>d</I>av∝<I>t</I><SUB>R</SUB><SUP>0.2</SUP>なる関係が認められた.粒度分布は, 幾何標準偏差が1.3から1.6の範囲で比較的粒度の揃った微粒子であった.<BR>生成粒子中の不純物酸素のうち, 加熱処理後にAl<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>として存在する酸素をグラファイト還元剤を用いて1673Kの温度条件で除去した.さらに, 処理後の粒子に残存するグラファイト粉末を973Kで燃焼除去した粒子には7.4wt%の酸素が含まれていた.
社団法人化学工学会の論文

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