バンプめっきの形状制御 : レジスト角度の影響
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概要
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バンプめっきの形状を決定する電流密度分布を二次電流密度と拡散律速とにわけて解析した。二次電流密度分布ではレジスト側壁角度が負またはゼロの場合、カソード端部での電流が減少する。Wa定数が大きい場合も端部での電流が減少する。拡散律速の電流密度分布では、負またはゼロのレジスト側壁角度は外部周辺からの拡散を抑制し、端部での剥離渦の発生を助長する。これらの外部周辺からの拡散を抑制と端部での剥離渦の発生とが端部での電流を減少させパンプの横獲がりを抑制する。Pe数が1.31, 41.6, 1407.2の場合に関してレジスト角度が-10, 0, 30゜での電流密度分布を解祈した。これらの電流密度分布を支配する剥離渦の発生と外部周辺からの拡散による物質移動に関して考察した。バンプの横拡がりを抑制する方法についてその要点をまとめた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-12-11
著者
-
近藤 和夫
岡山大学工学部
-
田中 善之助
岡山大学工学部
-
田中 善之助
岡山大学工学部物質応用化学科
-
福井 啓介
姫路工業大学産業機械学科
-
福井 啓介
姫路工業大学工学部 産業機械工学科
-
近藤 和夫
大阪府大 大学院工学研究科
-
田中 善之助
岡山大 工
-
福井 啓介
姫路工業大学 産業機械工学科
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