High Strength Si Wafers with Heavy B and Ge Codoping
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概要
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- Japan Society of Applied Physicsの論文
- 2003-12-15
著者
-
Huang X
Nanjing Univ. Nanjing Chn
-
干川 圭吾
信州大学大学院工学系研究科電気電子工学専攻
-
HOSHIKAWA Keigo
Faculty of Education, Shinshu University
-
Nakanishi Masami
Silicon Technology Corporation
-
TAISHI Toshinori
Faculty of Education, Shinshu University
-
HUANG Xinming
Silicon Technology Corporation
-
SATO Tsuyoshi
Silicon Technology Corporation
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