原子層制御エピタキシャル成長技術

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概要

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• 電子情報通信学会の論文
• 1992-12-01

著者

• 青柳 克信

  理化学研究所

• 目黒 多加志

  理研

• 岩井 荘八

  理化学研究所

• 岩井 荘八

  理研

• 目黒 多加志

  理化学研究所

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