波長可変レーザーと塩素を用いたGaAsの原子層エッチング
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概要
著者
-
青柳 克信
理研
-
石井 真史
物質・材料研究機構
-
目黒 多加志
理研
-
目黒 多加志
理化学研究所
-
石井 真史
Spring-8高輝度光科学研究センター
-
石井 真史
高輝度光科学研究センター:理化学研究所播磨研究所
-
石井 真史
Faculty of Engineering Science, Osaka University
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