レーザMOVPE法によるGaAsの単原子層制御成長(<特集>アトミックルールプロセス)

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1990-07-05

著者

• 青柳 克信

  理化学研究所

• 岩井 荘八

  理化学研究所

• 岩井 荘八

  理研

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