LQE2000-25 パルスレーザーアブレーションによるGaNのエッチング加工
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
F_2レーザー照射アブレーションによるGaNのエッチング加工を行い、加工形状、加工速度の比較を行い、KrFエキシマレーザーを用いた場合と比較した。F_2レーザーを用いた場合、100MW/cm^2の照射強度においても熱的影響によるエッチングレートの加速は見られず、マスクエッジ部の凹凸が少なく、マスクエッジ回祈によるリプル構造が明瞭に確認された。また、レーザー強度増大と共に、KrFエキシマレーザー照射の場合と同様なエッチング表面の平坦化効果が確認された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-14
著者
-
緑川 克美
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
豊田 浩一
理研
-
青柳 克信
理化学研究所
-
野村 晋太郎
科技団:筑波大物理
-
緑川 克美
理化学研究所
-
緑川 克美
理化学研究基幹研究所エクストリームフォトニクス研究グループ
-
杉岡 幸次
理化学研究所
-
豊田 浩一
東京理科大学
-
杉岡 幸次
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
青木 尚子
理化学研究所
-
茜 俊光
理化学研究所
-
青木 尚子
東京理科大学基礎工学部
-
半村 清孝
理化学研究所
-
野村 晋太郎
筑波大学物理学系
-
半村 清孝
理研
-
緑川 克美
理化学研究所 基幹研究所 エクストリームフォトニクス研究グループ
関連論文
- フェムト秒レーザーによるナノ水族館作製 : 藍藻 Phormidium の滑走運動メカニズム解明への応用
- テラワットサブ10fsレーザーシステムの開発とその二色レーザー電場による高次高調波発生への応用
- F_2レーザ表面改質による紫外線透過性ポリマー上への細胞選択培養
- フェムト秒レーザーによる高輝度高次高調波の発生
- CLEO/IQEC '98報告
- 高強度超短パルスレーザの中空ファイバ内での高次高調波発生
- フェムト秒高強度パルスレーザの第2高調波発生
- 高強度超短パルスレーザの中空ファイバ内での非線形光学現象 (第3次高調波発生)について
- CLEO/IQEC '98報告
- CLEO/IQEC '98報告
- CLEO/IQEC '98報告
- 混合ガスを用いた高次高調波発生 : アト秒ダイナミクスの観測と制御
- 高次高調波による超高速コヒーレント軟X線光源とその応用 : フェムト秒からアト秒へ
- 高次高調波を用いた高輝度コヒーレントXUV光の発生
- 高輝度高次高調波の発生と応用
- 高次高調波とアト秒科学
- 高強度アト秒パルス列 : 真空・極端紫外域の超高速光パルスの発生とその非線形光学
- フェムト秒レーザーによるガラス内部加工とナノ水族館の実現
- フェムト秒レーザーによるナノ水族館作製 : ナノ水族館内で見る藍藻 Phormidium の共生による植物成長促進効果
- スペクトル位相変調を用いた非線形光学顕微鏡
- 高橋栄治氏の論文紹介
- レーザー加工によるマイクロチップデバイスの作製及びその応用
- レーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPLA)による透明材料の微細加工に関する研究
- フェムト秒レーザー支援ウエットエッチング法によるGaNの微細加工
- フェムト秒レーザーによる水生微生物観察用ナノ水族館の作製
- フェムト秒レーザを用いたバイオチップデバイスの作製およびその応用
- 蛍光たんぱく質の2光子励起スペクトル計測と波形整形を用いた選択励起
- フェムト秒レーザー励起パルスの波形整形による2光子励起蛍光顕微計測の高性能化
- F_2レーザアブレーションによる紫外透過性ポリマを用いたマイクロチップ電気泳動デバイスの作製
- サブ10fs, 2カラーパルスを用いた高次高調波発生
- レーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPAA)による透明材料の微細加工及びメカニズム研究
- シリコン原子の精密原子分光
- 高強度XUVFEL光による原子・分子の多光子イオン化 : メタノールおよびエタノールへの応用
- マイクロ化学分析集積素子応用へのフェムト秒レーザーによる感光性ガラス中の三次元微細加工
- 30p-G-14 高強度光電離による軟X線レーザー
- 5a-N-6 TEACO_2レーザー励起NH_3のダイオードレーザーによる2重共鳴分光
- 真空紫外レーザーと紫外レーザーの機能性材料加工への応用
- レーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPAA)による透明材料の微細加工
- 石英ガラスのF_2-KrFレーザ多重波長励起アブレーションによる放出イオン種の観察
- 第5回X線レーザー国際会議報告
- フーリエ変換非線形分光法による蛍光タンパク質の2光子励起スペクトル測定
- 5. 実際のX線レーザー実験 (Q&A集でみるX線レーザー)
- オプトエレクトロニクス材料へのレーザープロセシング
- 真空紫外-紫外多重波長励起アブレーション
- 真空紫外レーザー光によるアブレーション
- 半導体原子操作のための精密原子分光
- 高強度フェムト秒レーザによる2重クラッドファイバーの作製 : プラズマチャネリング及び内部屈折率改質
- 軸方向励起Transient gain 軟X線レーザ
- 原子層制御による『水の窓』域軟X線多層膜ミラーの開発
- PLD法による導波路型Cr^:YAGとYb^:YAGレーザ結晶薄膜の作製
- レーザーアブレーション法による導波路型レーザー結晶の作製 -Si基板上への作製を目指して-
- 原子層堆積法/成長法による軟X線酸化物多層膜ミラーの開発
- レーザーアブレーション法によるエピタキシャル(Nd, Yb, Cr) : YAG薄膜の作製およびその特性(III)
- 原子層堆積法による新しい酸化物軟X線ミラーの開発
- テラワット2サイクルパルスの発生と高次高調波変換
- Laser Review XUV〜X線利用研究活性化のために (「レーザーによるXUV〜X線の発生とその応用」特集号)
- フェムト秒レーザーによる感光性ガラスの3次元マイクロ加工
- 高次高調波とアト秒科学(第55回物性若手夏の学校(2010年度),講義ノート)
- 先進的高出力レーザーとその応用に関する国際フォーラム
- アト秒XUV光と原子・分子の非線形相互作用
- エクストリームフォトニクス研究
- 先端光科学研究「エクストリームフォトニクス」
- 光パラメトリック増幅を用いた真空紫外レーザ用インジェクション光源の開発
- F_2レーザー表面改質による紫外線透過ポリマーの親水化と細胞観察用マイクロチップの作製
- アト秒XUV光と原子・分子の非線形相互作用
- 高次高調波応用のための軟X線オプティクスの開発
- 13-nm高次高調波の空間コヒーレンスの単一パルス計測
- LQE2000-25 パルスレーザーアブレーションによるGaNのエッチング加工
- 4p-GE-11 CO_2レーザーによるプラズマの診断
- 11a-N-10 CO_2レーザーによるTP-Dプラズマの計測
- 5p-K-11 コールド相対論的電子ビームによるラマン型自由電子レーザーの研究-VII
- 6a-D6-3 コールド相対論的電子ビームによるラマン型自由電子レーザーの研究-V
- 28p-N-2 コールド相対論的電子ビームによるラマン型自由電子レーザーの研究-III
- 28p-N-1 FEL用コールド電子ビームの発生IV
- 4p-K-10 FEL用コールド電子ビームの発生 II
- 4p-K-9 コールド相対論的電子ビーム(CREB)によるラマン領域自由電子レーザーの研究-I
- パルスレーザー照射によるGaNの平坦化エッチング
- 窒素ラジカル源を用いたPLD法によるSi基板上のTiN薄膜成長
- 均一化ビームを用いたPLD法によるSi(100)上へのTiN薄膜成長
- エキシマレーザーダブルパルス照射法による深いドーピング層の形成
- コヒーレント軟X線強光子場における原子・分子の超閾イオン化(最近の研究から)
- 偏光スイッチ法による高出力反ストークス光の発生
- 半導体レ-ザ-励起,固体レ-ザ-,Ti;サファイアレ-ザ-,超短パルスレ-ザ- (CLEO′90/IQEC′90報告)
- ラッシュランプ励起チタンサファイアレーザーの長寿命化
- 超短パルス高強度レーザによるコヒーレント軟X線の発生
- アト秒パルス列の計測
- 複合レーザープロセスによるハードマテリアル加工
- 複合ルーザープロセスによるハードマテリアル加工
- 高強度アト秒パルス発生--単一パルス化・短波長化を目指して (特集 アト秒光パルスの研究最新動向)
- アト秒光パルスの発生 : 展望と課題
- 中空ファイバ中の超高速非線形光学
- フェムト秒レーザーの自己パルス圧縮
- フェムト秒レーザーの自己パルス圧縮
- 高次高調波によるアト秒パルスの発生
- 混合ガス中の高次高調波発生とそのアト秒物理学への応用
- 高次高調波によるXUV-軟X線光源とその応用 : 近赤外超短パルスレーザーによる高次高調波発生
- 高次高調波によるXUV極短パルス光源の短波長化 (特集 非線形光工学)
- 超広帯域フェムト秒レーザーを用いた非線形光学顕微鏡
- 深部超解像イメージングのための新しい非線形光学顕微鏡技術
- アト秒パルス列の自己相関計測