マイクロ化学分析集積素子応用へのフェムト秒レーザーによる感光性ガラス中の三次元微細加工
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概要
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- 2002-11-15
著者
-
増田 雅史
Riken The Institute Of Physical And Chemical Research
-
杉岡 幸次
理研
-
緑川 克美
理研
-
豊田 浩一
理研
-
緑川 克美
理化学研究所
-
程 亞
RIKEN, The Institute of Physical and Chemical Research
-
杉岡 幸次
RIKEN, The Institute of Physical and Chemical Research
-
緑川 克美
RIKEN, The Institute of Physical and Chemical Research
-
河内 雅子
HOYA Continuum Corporation
-
四方山 和彦
HOYA Continuum Corporation
-
豊田 浩一
Tokyo University of Science
-
程 亞
Riken The Institute Of Physical And Chemical Research
-
豊田 浩一
東京理科大学
-
緑川 克美
理化学研究所 基幹研究所 エクストリームフォトニクス研究グループ
-
緑川 克美
(独)理化学研究所高強度軟x線アト秒パルス研究チーム
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