フェムト秒レーザー支援ウエットエッチング法によるGaNの微細加工
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概要
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- 2007-12-17
著者
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杉岡 幸次
理研
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緑川 克美
理研
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緑川 克美
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
緑川 克美
理化学研究基幹研究所エクストリームフォトニクス研究グループ
-
杉岡 幸次
理化学研究所
-
中嶋 聖介
理化学研究所
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杉岡 幸次
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
緑川 克美
理化学研究所 基幹研究所 エクストリームフォトニクス研究グループ
-
緑川 克美
(独)理化学研究所高強度軟x線アト秒パルス研究チーム
-
緑川 克美
(独)理化学研究所基幹研究所
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