原子層堆積法/成長法による軟X線酸化物多層膜ミラーの開発
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概要
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- 1998-01-01
著者
-
小原 實
慶應義塾大学 電子工学科
-
緑川 克美
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
小原 實
慶應義塾大学
-
緑川 克美
理化学研究基幹研究所エクストリームフォトニクス研究グループ
-
熊谷 寛
理化学研究所 レーザー物理工学研究室
-
小原 實
慶應義塾大学大学院 理工学研究科
-
飯村 康紘
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
松山 浩子
理化学研究所
-
熊谷 寛
大阪市立大学大学院工学研究科
-
熊谷 寛
理化学研究所
-
飯村 康紘
理化学研究所
-
緑川 克美
理化学研究所 基幹研究所 エクストリームフォトニクス研究グループ
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