原子層堆積法による新しい酸化物軟X線ミラーの開発
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概要
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- 1997-01-01
著者
-
小原 實
慶應義塾大学 電子工学科
-
豊田 浩一
理研
-
豊田 浩一
理化学研究所
-
小原 實
慶應義塾大学
-
熊谷 寛
理化学研究所 レーザー物理工学研究室
-
小原 實
慶應義塾大学大学院 理工学研究科
-
飯村 康紘
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
小林 勝太郎
慶應義塾大学
-
熊谷 寛
大阪市立大学大学院工学研究科
-
熊谷 寛
理化学研究所
-
飯村 康紘
理化学研究所
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