原子層制御による『水の窓』域軟X線多層膜ミラーの開発
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概要
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原子層オーダーで制御されたアモルファス多層膜や、半導体、磁性体薄膜で用いられてきた超格子構造が、軟X線光学分野で重要になってきた。「水の窓」域では表面粗さによる散乱損失が極めて深刻な問題になるためである。このような多層膜構造を作製する新しいアプローチとして、原子層制御による堆積を試みた。本講演では、原子層堆積法、原子層成長法といった原子層制御による多層膜の作製、反射率特性について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-06-16
著者
-
緑川 克美
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
小原 實
慶応義塾大学理工学部
-
緑川 克美
理化学研究所
-
緑川 克美
理化学研究基幹研究所エクストリームフォトニクス研究グループ
-
熊谷 寛
理化学研究所 レーザー物理工学研究室
-
小原 實
慶應義塾大学大学院 理工学研究科
-
松山 浩子
慶応義塾大学理工学部
-
飯村 康紘
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
松山 浩子
理化学研究所
-
熊谷 寛
大阪市立大学大学院工学研究科
-
熊谷 寛
理化学研究所
-
小原 實
慶応義塾大学
-
小原 実
慶應義塾大学大学院 理工学研究科
-
飯村 康紘
理化学研究所
-
緑川 克美
理化学研究所 基幹研究所 エクストリームフォトニクス研究グループ
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