パルスレーザー照射によるGaNの平坦化エッチング
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概要
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- 2000-02-10
著者
-
緑川 克美
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
緑川 克美
理化学研究基幹研究所エクストリームフォトニクス研究グループ
-
杉岡 幸次
理化学研究所
-
杉岡 幸次
理化学研究所レーザー物理工学研究室
-
茜 俊光
理化学研究所
-
緑川 克美
理化学研究所 基幹研究所 エクストリームフォトニクス研究グループ
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