半球状グレインポリシリコンの形成機構
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概要
著者
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辰巳 徹
日本電気(株)
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酒井 朗
日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
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五十嵐 多恵子
日本電気(株)システムデバイス研究所
-
渡辺 啓仁
日本電気(株)システムデバイス研究所
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渡辺 啓仁
日本電気株式会社
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辰巳 徹
日本電気株式会社
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