4a-PS-34 Si固相成長における界面7×7超格子構造の変化
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1990-09-12
著者
-
辰巳 徹
日本電気(株)
-
酒井 朗
日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
-
小野 春彦
神産技セ
-
石田 宏一
日本電気(株)基礎研究所
-
小野 春彦
日本電気(株)基礎研究所
-
辰巳 徹
日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
-
小野 春彦
日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
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