27aXS-8 ナノインデンテーション法によるAl_xGa_<1-x>N薄膜の硬度測定(27aXS 格子欠陥・ナノ構造(転位・界面・半導体),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
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概要
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- 2013-03-26
著者
-
大野 裕
東北大金研
-
米永 一郎
東北大金研
-
徳本 有紀
東北大金研
-
三宅 秀人
三重大学工学部電気電子工学科
-
三宅 秀人
三重大工
-
Matsushima Hidetada
Department Of Electronics School Of Engineering Nagoya University
-
沓掛 健太朗
東北大金研
-
種市 寛人
東北大金研
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