13pTJ-11 TEM-CL 法による双晶面が存在する AlGaAs の光学特性の評価(電子線, 領域 10)
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2004-08-25
著者
-
大野 裕
東北大金研
-
山本 直紀
東工大院理工
-
山本 直紀
東工大院理工:jst-crest
-
大野 裕
阪大院理
-
Ohno Y
Jst‐presto Saitama Jpn
-
Ohno Yoshikazu
Ulsi Laboratory Mitsubishi Electric Corporation
-
Okamoto Yasunori
Research And Headquarters Kubota Corporation
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