MOVPE法による大面積CdTeX線・γ線画像検出器に関する研究 : Si基板上の厚膜CdTe層高品質化の検討(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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有機金属気相成長法によりSi基板上に成長した厚膜CdTe単結晶層を用いた、大面積X線・γ線画像検出器の開発を目的として研究を行っている。これまで検出器の製作では、Si基板上のCdTe成長層に部分的な剥離や、多結晶化、電気特性の不均一等が発生する場合があり、これらの防止とその改善が課題であった。これらの問題はCdTe成長に先立って実施する、Si基板の成長前処理(GaAs処理)に原因があると考えられるのでその改善を図った。GaAs処理の改善後、CdTe成長層の剥離は防止でき、Si基板上全面で高品質の単結晶CdTe層が成長可能となった。p-CdTe/n-CdTe/n+-Si構造の成長層をダイシングし、ダイオードアレイを試作した。その結果、ダイシング時にもCdTe層の剥離は発生せず、CdTeとSiの結合状態も改善されていることが分かった。またアレイ内のダイオードについて電流-電圧特性を測定したところ、場所によらず均一なダイオード特性を確認できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2010-05-06
著者
-
安田 和人
名古屋工業大学 電気情報工学科
-
安形 保則
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
ニラウラ マダン
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
マダン ニラウラ
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
ニラウラ マダン
名古屋工業大学・電気情報工学科
-
安田 和人
名古屋工業大学大学院
-
後藤 達彦
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
江川 鍛
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
土用下 尚外
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
福田 浩幸
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
犬塚 博章
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
舘 忠裕
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
藤村 直也
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
マダン ニラウラ
名古屋工業大学大学院
-
ニラウラ マダン
名古屋工業大学工学部
-
安形 保則
名古屋工業大学大学院
-
安田 和人
名古屋工業大学
-
後藤 達彦
名古屋工業大学大学院 機能工学専攻
-
土用下 尚外
名古屋工業大学大学院 機能工学専攻
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