高エネルギー放射線画像検出器のためのパターンレーザードーピングの研究
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概要
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X線やγ線に対して高い吸収係数を持つCdTeは比較的広いバンドギャップを持ち室温動作可能な高エネルギー放射線検出器の材料として有用である。本研究においては集積型検出器としても応用範囲の広がるパターンドーピングについて検討を行った。リモートプラズマMOCVD法によりCdTe単結晶にn層を堆積し、続いて反対側にマスクを置いた状態でNa_2Teを真空蒸着し、そこにKrFエキシマレーザー(レーザー波長248nm、パルス幅20nS)を照射してp型層を形成させる。パターン状に形成したp型層の抵抗値0.6Ωcm及び、パターンの最小寸法101p/mmのp型接合が得られることがわかった。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1999-06-25
著者
-
畑中 義式
静岡大学電子工学研究所
-
畑中 義式
静岡大学 電子科学研究科
-
高橋 秀年
静岡大学電子科学研究科
-
富田 康弘
浜松ホトニクス(株)
-
青木 徹
静岡大学電子工学研究所
-
青木 徹
静岡大学 電子工学研究所
-
望月 大介
静岡大学 電子工学研究所
-
Niraula Madan
静岡大学 電子科学研究科
-
高橋 秀年
静岡大学 電子科学研究科
-
二橋 得明
浜松ホトニクス
-
望月 大介
静岡大学電子工学研究所
-
Niraula Madan
静岡大学電子科学研究科
-
富田 康弘
静岡大学浜松ホトニクス
-
二橋 得明
静岡大学浜松ホトニクス
-
NIRAULA M.
静岡大学電子科学研究科
-
ニラウラ マダン
名古屋工業大学・電気情報工学科
-
Niraula M
名古屋工大
-
ニラウラ マダン
名古屋工大 大学院
-
ニラウラ マダン
名古屋工業大学工学部
-
富田 康弘
浜松ホトニクス株式会社
-
富田 康弘
浜松ホトニクス
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