有機金属気相法によるCdZnTe成長特性の原料アルキル基依存性
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概要
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II族成長原料アルキル基の相違がCdZnTe(CZT)層の成長特性に及ぼす影響について検討した.II族成長原料に同種のアルキル基を持つを原料を用いることにより,CdTeからZnTeまでの全組成域で良好なCZT層を得ることができることが分かった.またII族とVI族原料のアルキル基が異なる場合には成長特性に与える影響は小さいことが分かった.成長原料としてDMCd,DMZn,DETeを用いることによりCdTeからZnTeまでの全域で良好な結晶性を持つCZT層を成長できた.成長したCZT層を4.2Kのフォトルミネセンスより評価し良好な光学特性を持つCZT層が得られることを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-05-22
著者
-
児島 克祥
名古屋工業大学 電気情報工学科
-
安田 和人
名古屋工業大学 電気情報工学科
-
森 勝宏
名古屋工業大学 電気情報工学科
-
窪田 吉孝
名古屋工業大学 電気情報工学科
-
浅井 良彦
名古屋工業大学 電気情報工学科
-
犬飼 文人
名古屋工業大学 電気情報工学科
-
二村 徹
名古屋工業大学 電気情報工学科
-
浅井 良彦
名古屋工業大学電気情報工学科
-
犬飼 文人
名古屋工業大学電気情報工学科
-
安田 和人
名古屋工業大学
-
二村 徹
名古屋工業大学電気情報工学科
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