OE05 PZT薄膜を用いた形状測定用加振形プローブセンサの設計と評価(バルク波デバイス)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 2000-11-06

著者

• 森田 剛

  理研

• 森田 剛

  東京大学大学院新領域創成科学研究科

• 神田 岳文

  東大・工

• 黒澤 実

  東工大・総理工

• 樋口 俊郎

  東大・工

• 森田 剛

  東京大学

• 森田 剛

  東大

関連論文

• PLZTの光透過率メモリスイッチの基礎的検討(物性,一般)
• KNbO_3エピタキシャル膜の製膜と圧電特性の評価
• 水熱合成粉末を用いた(K,Na)NbO_3セラミックスの圧電効果(物性,一般)
• SIDMを用いたパラレルリンク機構
• 2P5-1 VHF帯超音波イメージングを目的としたKNbO_3配向制御膜トランスデューサ(ポスターセッション)
• 超音波アシスト水熱合成法による圧電材料の合成
• 1J1-3 水熱合成法によるKNbO_3エピタキシャル膜の作製と特性評価(超音波物性・材料・フォノン物理)
• 水熱合成粉末によるニオブ酸カリウムセラミックスの圧電特性
• 2-01-02 水熱法を用いたニオブ酸カリウムセラミックスの合成(超音波物性・材料・フォノン物理)
• 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ : 第二報:モータの小型化と特性評価(アクチュエータの機構と制御1)
• 1A1-1F-F6 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ
• 水熱法PZT薄膜を用いた加振形プローブセンサ
• OE05 PZT薄膜を用いた形状測定用加振形プローブセンサの設計と評価(バルク波デバイス)
• SA-5-6 PZT薄膜を用いた縦振動プローブ接触センサの分解能
• PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第6報) : プローブセンサの測定力と分析
• PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第5報) : プローブセンサを用いた表面形状の測定
• 円筒型マイクロ超音波モータ
• PZT薄膜を用いた加振形接触セソサ(第4報)-検出感度, 分解能の測定-
• PZT薄膜による縦振動子を用いた振動形プローブセンサ
• PZT薄膜を用いたディスク型小型超音波モータの試作
• PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第6報) -さらなる小型化に向けて-
• PF7 バルクPZTを用いた円筒型マイクロ超音波モータ(強力超音波,ポスターセッション1)
• 2-08P-39 水熱合成PZTを用いたテーパー構造を有するニードル方ハイドロホンの試作(ポスターセッション 2)
• 3J8-1 V型超音波モータを用いた高速高分解能ステージ(強力超音波)
• 2A1-F7 薄型リニアアクチュエータを用いた触感インタフェース(16. 柔軟物のモデリングと力覚を伴った変形手法)
• 水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン
• PZT薄膜を用いた補聴器用イヤホンの検討
• 電磁反発衝撃力を用いた微小駆動機構の基礎特性(J22-1 センサ・アクチュエータシステムとその知能化(1),J22 センサ・アクチュエータシステムとその知能化-実環境で活躍するメカトロニクスを目指して)
• F-0604 ダイヤモンドバイトを用いたシェーパ加工による自由曲面の鏡面加工(S41-1 生産システムにおけるハードウェア技術(1))(S41 生産システムにおけるハードウェア技術)
• 228 ファストツールサーボによる超精密非軸対称非球面金型の加工(OS-6 超精密加工)
• PB1 水熱合成法におけるPZT薄膜成膜の生成過程プロセスの改良(ポスターセッション1)
• P1-42 水熱合成法を用いた微小ニードル形ハイドロフォンの開発 : 受音部構造と指向性の関係(ポスターセッション1(概要講演))
• 摩擦保持された部品用精密微調機構
• 2P1-C2 静電気力を用いた卵細胞回転機構の開発(58. マイクロ・ナノ作業I)
• D-1 水熱合成PZT多結晶膜を用いた1Dアレイ医用超音波プローブに関する基礎研究 : 一次元アレイ超音波プローブの試作と音響特性の評価(医用超音波)
• P3-73 水熱合成PZT厚膜を用いた20MHz帯での強力超音波の発生(ポスターセッション3(概要講演))
• P3-17 水熱合成法における圧電多結晶膜の成膜プロセスに関するの基礎検討 : 過酸化水素を用いたTi基板表面処理が圧電多結晶膜の特性に及ぼす影響(ポスターセッション3(概要講演))
• P1-25 水熱合成PZT多結晶膜を用いた1-20MHz帯超音波トランスデューサ(ポスターセッション1(概要講演))
• 水熱合成PZT結晶膜トランスデューサの水中における振動特性の評価
• 非軸対称非球面の超精密研削(第2報):マイクロ回転非軸対称非球面の研削
• 231 非軸対称非球面の超精密研削(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
• 磁気浮上技術の産業利用の現状と将来動向(7) : 新概念のシステムと関連技術
• 659 弾性表面波霧化器と静電気力を複合した新たなタンパク質固定化法
• 435 静電スプレーによるタンパク質薄膜と SU-8 カンチレバーを用いた新しいバイオセンサ
• 独創的超音波技術の開拓(グラビアとインタビュー精密工学の最前線)
• 超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の摩擦材の検討
• QG05 超音波振動子を利用した超高真空対応回転導入機の試作(ポスターセッションII)
• 超音波振動子を利用した超高真空対応回転導入機構
• P1-5 水熱合成法PZT薄膜を用いた超音波振動子の振動速度限界(ポスターセッション1,ポスター発表)
• 東京大学大学院新領域創成科学研究科人間環境学専攻 情報マイクロシステム分野
• 圧電材料の基礎と応用
• 1J-5 超音波アシスト水熱合成法による圧電材料の合成とその評価(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
• 100MHz駆動による小型化弾性表面波モータ
• スライダ突起による弾性表面波の散乱について
• 弾性表面波モータの駆動特性に及ぼすセラミックコーティング薄膜の影響
• QG07 弾性表面波モータ用スライダ接触部突起の寸法と密度の検討(ポスターセッションII)
• 弾性表面波モータ用シリコンスライダにおける突起パラメータの最適化
• 弾性表面波超音波モータの摩擦駆動特性
• 水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン
• 水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン
• 水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン
• 206 Fe-Ga合金を用いた精密位置決め機構の開発(マルチフェロイクス)
• H-1 高応答SAWリニアモータに関する研究(弾性表面波デバイス,口頭発表)
• 複数振動子を用いた弾性表面波リニアモータの駆動
• ギャップ制御型マイクロ浮上機構
• ギャップ制御を用いたマイクロ浮上機構の基礎的研究
• 永久磁石の運動制御法式による2自由度浮上機構における考察
• ギャップ制御型マイクロ浮上機構
• 静電力と音波浮揚力とを組み合わせた薄いガラス板の浮上直進駆動システム
• 薄板ガラスの空気圧浮上静電力直進駆動システム
• 誘電率検出によるセルフセンシング圧電アクチュエータ (特集 最近の超音波モータ・アクチュエータ)
• 静電気吸引力を用いた薄いガラス板の非接触ハンドリング装置
• P1-6 水熱法によるPZT薄膜の作製 : 成膜条件と結晶成長および振動速度の関係(ポスターセッション1,ポスター発表)
• ニオブ酸リチウム積層アクチュエータ--ハイパワー振動子を目指して (特集:環境にやさしい非鉛系圧電材料--セラミックスを中心として)
• QG04 積層型ニオブ酸リチウムアクチュエータの試作(ポスターセッションII)
• スキュー電極を用いた高出力静電モータ
• 電極の傾斜配置による静電モータの性能改善に関する解析
• 両電極型静電モータを利用した2自由度位置決め機構
• 交流駆動両電極形静電モータの効率 -1周波数法変調駆動における効率-
• 交流駆動両電極形静電モータの変調駆動法における動作特性
• 交流駆動両電極形静電モータの変圧器を用いた変調駆動法
• 超精密切削加工による静電アクチュエータ微細電極の形成
• 水熱合成法によるPZT薄膜の応用
• 水熱合成法によるPZT薄膜の応用
• 水熱合成法によるPZT薄膜の応用
• 水熱合成法によるPZT薄膜の応用
• PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第2報) -分解能の向上と接触状態の分析-
• 210 シリコンスライダを用いた弾性表面波モータにおける摩擦駆動モデル
• 209 エネルギー環流型弾性表面波モータのレイリー波励振効率の検討
• A-11-6 エネルギー環流弾性表面波モータ用素子の振動振幅の立ち上がり特性
• 弾性表面波モータの駆動特性に対する接触部の弾性変形の影響
• A-11-7 エネルギー環流弾性表面波モータの駆動の試み
• PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第5報) -直径1.4mm, 高さ5mmのステータ振動子を用いて-
• 長ストローク弾性表面波リニアモータの開発
• QG08 長ストローク弾性表面波リニアモータの駆動特性(ポスターセッションII)
• 弾性表面波リニアモータにおけるシリコンスライダ形状に関する研究
• 弾性表面波リニアモータの小型化に関する研究第3報 -最適シリコンスライダ形状について-
• 1J4-1 超音波アシスト水熱合成法のための高温対応振動子の開発(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
• 酸化チタンを用いた水熱合成法によるPZT膜の作製と振動特性に関する検討
• 高次モード結合型ランジュバン振動子を用いた超音波ポンプ(強力超音波,一般)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク