水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン
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概要
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水熱合成法は高温高圧のアルカリ条件下の水溶液中でPZT成膜を行うために立体形状基板への成膜が可能であるという利点を持つ。その応用デバイスとして、マイクロ超音波モータ、加振型接触センサ、補聴器用イヤホンの試作を行った。モータは直径1.4mmへの小型化に成功し、最高回転数600rpmであった。加振型接触センサは分解能66nmを実現し、水中での使用の可能性を示した。また、補聴器用イヤホンでは、駆動電圧1.3Vrmsで60dBの音圧発生を測定した。現在単一プロセス水熱合成法にかわる新たな合成プロセスを開発中である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-07-03
著者
-
樋口 俊郎
東京大学工学系研究科
-
保井 秀彦
東京大学大学院:(現)デンソー(株)
-
保井 秀彦
東京大学大学院
-
森田 剛
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
神田 岳文
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
保井 秀彦
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
黒澤 実
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
森田 剛
東京大学
-
森田 剛
東大
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