水熱合成法によるPZT薄膜の応用
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概要
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水熱合成法によるPZT成膜は, 立体形状基板に成膜が可能であるという大きな利点を持つ. 従来の水熱合成法を改良し, 薄膜の圧電定数を大幅に向上させることができた. この手法を単一プロセス水熱合成法と呼ぶ. この薄膜を用いてマイクロ超音波モータと加振型接触センサを製作した. モータは直径2.4[mm], 長さ10[mm]のステータ振動子を持ち, 発生トルクは7[μNm], 最高回転数は880[rpm]であった. 接触センサは, 共振周波数115kHz, 先端での振動振幅は7.9[nm_<o-p>]であり, 分解能1[μm]で接触の検出を行うことができた.
- 1997-07-04
著者
-
樋口 俊郎
東京大学工学系研究科
-
森田 剛
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
神田 岳文
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
黒澤 実
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
森田 剛
東京大学
-
森田 剛
東大
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