PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第3報)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1995-09-01

著者

• 樋口 俊郎

  東京大学工学系研究科

• 森田 剛

  東京大学工学系研究科精密機械工学専攻

• 黒澤 実

  東京大学工学系研究科精密機械工学専攻

• 森田 剛

  東京大学

• 森田 剛

  東大

関連論文

• 弾性表面波の進行波を用いた皮膚感覚ディスプレイ(機械力学,計測,自動制御)
• スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発 : 駆動機構の提案と基本特性
• 試料内部3次元情報取得システムによるアルミニウム合金ダイカスト内部の鋳巣観察
• 逐次精密切削加工による試料内部3次元情報取得システムの開発
• 円筒型マイクロ超音波モータ
• K19 静電力を利用したマニピュレーション
• 電気化学測定法による植物栽培の培養液測定のためのシングルユースマルチセンサーシステムの開発
• 423 精密切削を利用した骨組織の3次元微視構造観察とミネラル分布測定(OS6-3:硬組織のバイオメカニクス(3),OS6:硬組織のバイオメカニクス)
• 400mmシリコンウェハの非接触静電浮上
• 水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン
• PZT薄膜を用いた補聴器用イヤホンの検討
• 小型ハイスループットタンパク結晶化デバイス
• E28 超音波2軸援用マイクロ非球面研磨法の開発(OS-11 超精密加工(1))
• 228 ファストツールサーボによる超精密非軸対称非球面金型の加工(OS-6 超精密加工)
• 超精密加工システムの最新動向(超精密加工システムの新展開)
• 圧電素子とボイスコイルモータを組み合わせた精密位置決め調整機構
• 1028 MR画像を用いた生体力学計測への静電モータの応用(G02-3 バイオエンジニアリング(3),G02 バイオエンジニアリング)
• 0929 Inverse FEMによる生体軟組織の異方性物性値同定(S05-1 生体のシミュレーション・モデリング・計測(1),S05 生体のシミュレーション・モデリング・計測)
• 3次元内部構造顕微鏡を用いた生体軟組織の半自動FEM解析メッシュ生成
• 密閉型高出力空中超音波センサの検討
• アクチュエータ(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
• 凍結状態の卵細胞を対象とする細胞操作法の開発
• 液滴塗布ヘッド内におけるレーザ生成気泡の挙動観測
• 低温環境における生体・食品への微細加工技術の開発
• 液滴塗布装置の吐出異常検知に関する研究
• 次世代アクチュエータの展望とトライボロジーの役割
• 弾性表面波振動子によるキャピラリー波と静電気の相互作用による霧化現象に関する研究
• 実用化を控えた様々なアクチュエータ
• アクチュエータ特集記事に当たって(アクチュエータ)
• TiNbAl生体用形状記憶合金の格子変形歪みに及ぼす組成の影響
• フレキシブル基板を用いた静電容量型屈曲センサの開発
• 三次元マイクロ素子成形プレスマシンの開発-丸線を用いた型成形基礎実験と専用マシンの開発-
• デュアルSTM-AFMの開発 -キャリブレーション用比較試料を用いたデュアルSTM-AFM-
• STMによる結晶格子を基準に用いた測長 (第2報 : グラファイト結晶格子と観察試料像の比較)
• 弾性表面波ジャイロ 第1報 等価回路法による解析と試作の検討
• 凍結ゼラチンゲル内氷結晶の非破壊計測法に関する研究 : 誘電特性を利用した氷結晶構造の推定
• リニアマイクロスライサを用いた生体内部観察システムの開発
• 冷凍食品内氷結晶構造に凍結速度依存性に関する研究
• 静電フィルムアクチュエータを用いた2自由度ロボットアームの開発
• 高出力両面駆動形積層静電モータ
• ロボット関節用静電クラッチのインピーダンス制御
• 1P1-N-102 接触面温度予測に基づく物体温度触感の提示 : 個人差を考慮した提示手法(触覚と力覚2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• 磁気軸受を用いた非円形中ぐり加工機の開発
• 2P1-N-077 弾性表面波デバイスによる液滴の搬送,混合,霧化(マイクロナノ作業2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• 逆起電力検出信号をフィードバックしたステップモータのダンピング制御
• 液滴塗布ヘッド内におけるレーザ生成気泡の挙動観測
• 電磁駆動高速位置決め機構によるピストン加工用高速非円形輪郭NC旋盤の開発
• 電磁吸引力を利用した高速位置決め機構の開発
• 電気油圧サーボ機構による高速非円形輪郭切削旋盤の開発
• 非円形輪郭切削に関する研究(第1報) : 逆伝達関数補償法の適用
• 逆伝達関数補償法を組合わせた繰返し制御を適用したバイトの位置決め制御
• 凍結状態の卵細胞を対象とする細胞操作法の開発
• V溝を用いた弾性表面波リニアモータ
• 弾性表面波モータの駆動特性の改善
• 弾性表面波モータにおける最適加圧
• 弾性表面波モータ(第2報) ---接触圧力増加による駆動特性の変化---
• 弾性表面波モータ
• パルス駆動誘導電荷形静電フィルムアクチュエータ
• 静電力による紙送り機構
• 1P1-S-084 静電誘導を用いた三相交流駆動両電極形静電モータ(アクチュエータの機構と制御2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• 水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン
• 水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン
• 水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン
• 弾性表面波霧化器の噴霧特性
• F1101(2) 特殊環境アクチュエータの最前線([F1101]ブレイクスルーを産み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
• F1101(1) ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ([F1101]ブレイクスルーを産み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
• 圧電セラミックスにおける電界誘起歪量の温度依存性
• F08-(4) 静電アクチュエータ(ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
• 筋肉に近づく
• アクチュエータの研究と手法(研究の方法)
• アクチュエータのマイクロ化(やわらかい機械)
• 弾性表面波モータの高推力化の検討
• 弾性表面波リニアモータの長ストローク化
• 1ビットディジタル出力形変位センサの試作
• 特集11 : 研究速報 : 超小型放電加工機の開発
• 高出力静電リニアモータを用いた高精度位置決め制御
• 水熱合成法によるPZT薄膜の応用
• 水熱合成法によるPZT薄膜の応用
• 水熱合成法によるPZT薄膜の応用
• 水熱合成法によるPZT薄膜の応用
• 液滴塗布ヘッド内の気泡検出に関する研究
• 1P1-D02 静電フィルムモータを用いたジョイスティック型2自由度ハプティックデバイスの試作
• 1A1-C16 DC静電インパクト駆動機構の電圧特性
• PZT薄膜を用いた円筒形マイクロ超音波モータ(第4報) -水熱合成法の改良による圧電特性の改善-
• PZT薄膜を用いた加振形接触センサ
• OG3 圧電薄膜を用いたマイクロ超音波モータの試作(強力超音波)
• PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第3報)
• 円筒型マイクロ超音波モータ
• 1P1-I14 物体表面における濡れ感の再現提示に関する基礎的検討(触覚と力覚)
• 1A1-H22 粘着触感提示のための表面粘着力の速度依存性評価(触覚と力覚)
• 大型ピストン加工用FMSの構築
• ボイスコイルモータを用いた小径用自動ボール盤の開発
• 繰り返し制御を用いた粘弾性測定
• 高温超電導体と軟磁性体を用いた磁気浮上
• (財)神奈川科学技術アカデミー「極限メカトロニクス」プロジェクト
• マイクロスライサ画像処理システムによるブロッコリー(Brassica oleracea L. var. italica PLEN.)の表面積および体積の計測
• 総論
• 精密切作による微細形状創成(3次元微細形状創成技術)
• 圧電素子の急速変形を利用した超精密位置決め機構(第2報) : 摩擦力の大きさと移動特性
• アクチュエータ

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク