PZT薄膜を用いた円筒形マイクロ超音波モータ(第4報) -水熱合成法の改良による圧電特性の改善-

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概要

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• 1997-03-01

著者

• 樋口 俊郎

  東京大学工学系研究科

• 森田 剛

  東京大学工学系研究科精密機械工学専攻

• 黒澤 実

  東京大学工学系研究科精密機械工学専攻

• 森田 剛

  東京大学

• 森田 剛

  東大

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