OG3 圧電薄膜を用いたマイクロ超音波モータの試作(強力超音波)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1995-11-27

著者

• 樋口 俊郎

  東京大学工学系研究科

• 森田 剛

  東京大学工学系研究科精密機械工学専攻

• 黒澤 実

  東京大学工学系研究科精密機械工学専攻

• 森田 剛

  東京大学

• 森田 剛

  東大

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