両電極型静電モータを利用した2自由度位置決め機構

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概要

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• 1996-05-29

著者

• 樋口 俊郎

  東大・工

• 山本 晃生

  東大

• 樋口 俊郎

  東大

• 新野 俊樹

  理研

• 坂 高寿

  豊田自動織機

• 新野 俊樹

  東京大学

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