柔軟な構造を有する静電フィルムアクチュエータの開発 : 推力特性評価
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概要
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A flexible electrostatic linear actuator has been developed. The actuator consists of a pair of a stator film and a slider film. Films are fabricated using flexible printed circuit technology. Size of the film is 29mm x 80mm x 200μm and weight is 0. 7g. Since this actuator consists of flexible films only, it can be bent easily. In this study, thrust force of the actuator, when it is bent, is analyzed theoretically. The theoretical analysis indicates that the actuator can work with sufficiently large force even if it is bent π rad. The theory is verified by experiment. Furthermore, two kinds of multi-layered structure are proposed for high power applications.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2003-03-05
著者
-
樋口 俊郎
東京大学大学院工学研究科
-
稲葉 昭夫
岐阜県情報技術研究所メカトロ研究部
-
山本 晃生
東京大学大学院
-
西嶋 隆
岐阜県生産情報技術研究所メカトロ応用部
-
山本 晃生
東大
-
稲葉 昭夫
岐阜県生産情報技術研究所
-
山本 晃生
東京大学大学院工学系研究科
-
稲葉 昭夫
岐阜県情報技研
-
山本 晃生
東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻
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