PZT薄膜による縦振動子を用いた振動形プローブセンサ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
SPMなどの形状測定装置のプローブとして用いる、振動形プローブセンサを試作した。センサは板状であり、水熱合成法によって成膜したPZT薄膜を加振および振動検出に用いる。また、このセンサでは縦振動を用いている。一般に、縦振動を用いるとたわみ振動を用いた場合に比べて、高い検出感度を得ることができる。振動子の長さは9.8 mm、共振周波数は304.35 kHzであり、3V_<p-p>印加時の共振時振幅は126 nm_<o-p>である。板状の構造の採用、小型化により圧電体の基板に対する割合を高め、感度の向上を図った。測定結果から、垂直方向検出分解能は2.4 nmであった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-06-21
著者
-
樋口 俊郎
東京大学大学院工学研究科
-
黒澤 実
東京工業大学
-
森田 剛
理研
-
森田 剛
東京大学大学院新領域創成科学研究科
-
神田 岳文
東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
-
森田 剛
東京大学
-
森田 剛
東大
-
森田 剛
東京大学大学院
関連論文
- マイクロフレネルレンズ成形型の超精密研削(第2報) : モリブデン製ツルアによる鋭利なエッジを有する研削ホイールの精密ツルーイングとフレネル形状の研削加工の高精度化
- 超磁歪材料の逆磁歪効果を利用した磁極切り替え型リニアステップアクチュエータの基礎的検討
- 弾性表面波の進行波を用いた皮膚感覚ディスプレイ(機械力学,計測,自動制御)
- スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第6報) -自走式コンパクトタイプの試作-
- スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第5報) -加速特性について-
- スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第4報)-自走式タイプの解析-
- スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第3報)-自走式タイプの試作-
- 試料内部3次元情報取得システムによるアルミニウム合金ダイカスト内部の鋳巣観察
- 逐次精密切削加工による試料内部3次元情報取得システムの開発
- PZT薄膜による縦振動子を用いた振動形プローブセンサ
- 電気化学測定法による植物栽培の培養液測定のためのシングルユースマルチセンサーシステムの開発
- 圧電インパクト駆動機構を用いた部品の精密位置決め装置の開発 -3自由度の位置決め装置の開発-
- 400mmシリコンウェハの非接触静電浮上
- 真空環境用静電リニアモータの開発
- 212 真空環境対応静電浮上式リニアモータの開発
- 真空環境用静電リニアモータの位置決め制御
- 静電浮上モータの浮上制御方法の検討
- 水熱合成PZT薄膜振動子の高振幅動作特性
- 水熱法PZT薄膜の高電界駆動特性評価
- PZT薄膜を用いた補聴器用イヤホンの検討
- マイクロフレネルレンズ成形型の超精密研削 : 超硬合金型の研削加工の可能性検証
- マイクロ・フレネルレンズ成形型の研削加工 -超硬合金型の研削加工の可能性検証-
- 電磁反発衝撃力を用いた微小駆動機構の位置決め制御(J22-1 センサ・アクチュエータシステムとその知能化(1),J22 センサ・アクチュエータシステムとその知能化-実環境で活躍するメカトロニクスを目指して)
- 小型ハイスループットタンパク結晶化デバイス
- 1P1-H06 静電マイクロマニピュレーションによるマイクロ化学リアクタ
- 静電気力を用いた細胞回転機構の開発
- マイクロチャンネルの加工ならびに応用に関する研究
- 卵細胞回転機構の開発
- 画像処理による血球計数に関する研究
- F-0604 ダイヤモンドバイトを用いたシェーパ加工による自由曲面の鏡面加工(S41-1 生産システムにおけるハードウェア技術(1))(S41 生産システムにおけるハードウェア技術)
- 超精密加工システムの最新動向(超精密加工システムの新展開)
- 切削加工によるマイクロパーツ製作の試み(第4報 圧電薄膜によるマイクロアクチュエーター製作の試み)
- 1028 MR画像を用いた生体力学計測への静電モータの応用(G02-3 バイオエンジニアリング(3),G02 バイオエンジニアリング)
- 3次元内部構造顕微鏡による生体の侵襲的イメージング
- 病理組織診断用薄切片試料作製システムの開発(第2報) : 引き角制御機構を有する,静電気を利用した薄切片試料作製装置
- 液滴塗布装置の吐出異常検知に関する研究
- 弾性表面波振動子によるキャピラリー波と静電気の相互作用による霧化現象に関する研究
- 実用化を控えた様々なアクチュエータ
- アクチュエータ特集記事に当たって(アクチュエータ)
- TiNbAl生体用形状記憶合金の格子変形歪みに及ぼす組成の影響
- ロングストローク弾性表面波リニアモータの駆動特性
- シリコンスライダを用いた弾性表面波モータ
- シリコンスライダを用いた弾性表面波モータ
- シリコンスライダを用いた弾性表面波モータ
- シリコンスライダを用いた弾性表面波モータ
- 直動平面型変位拡大機構の開発
- 高エネルギー効率直動型変位拡大機構の開発
- 圧電プレスを用いるグリーンシートパンチングシステムの開発
- 磁気研磨による微細部品のバリ取り
- 運動関数を用いた昆虫3次元形状モデルによる運動シミュレーション
- 凍結ゼラチンゲル内氷結晶の非破壊計測法に関する研究 : 誘電特性を利用した氷結晶構造の推定
- リニアマイクロスライサを用いた生体内部観察システムの開発
- 凍結ゼラチンゲル内氷結晶の非破壊計測法に関する研究 : 誘電特性を利用した氷結晶構造の推定
- 23. 凍結ゼラチン水溶液のインピーダンスと氷結晶性状の関係(第49回低温生物工学会研究報告)
- 希薄溶液系材料内氷結晶の3次元計測法に関する研究
- 生牛肉試料内3次元氷結晶構造計測システムの開発
- X, Y精子判別に関する基礎研究
- 卵細胞回転機構の開発
- 全自動核移植システムの開発
- 圧電素子と電磁力を組み合せた駆動機構を用いたマイクロマニピュレータの開発
- 染色切片の立体再構成による成分分布の3次元解析 : 1玄米粒中の脂質分布への適用
- 非軸対称非球面の超精密研削(第2報):マイクロ回転非軸対称非球面の研削
- 231 非軸対称非球面の超精密研削(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
- 静電フィルムアクチュエータを用いた2自由度ロボットアームの開発
- 高出力両面駆動形積層静電モータ
- 真空環境用静電リニアモータの開発
- 柔軟な構造を有する静電フィルムアクチュエータの開発 : 推力特性評価
- 柔軟な構造を有する静電リニアアクチュエータの開発:柔軟な静電リニアアクチェエータの権力特性評価
- ELID研削による非軸対称非球面X線ミラーの加工
- 電磁反発力を用いたマイクロステッピング機構の開発 : 負荷慣性体の剛性影響と高速化
- 317 マイクロ機械加工法とフォトリソグラフィを組み合わせた微細構造創成の試み(OS6 マイクロ加工(2))
- マイクロフローセルのための静電容量型高分解能変位計の開発
- 1P1-N-102 接触面温度予測に基づく物体温度触感の提示 : 個人差を考慮した提示手法(触覚と力覚2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 砥粒加工によるマイクロメカニカルファブリケーション技法
- 電磁反発衝撃力を用いた駆動機構の上昇下降切替えメカニズム
- 電磁反発衝撃力を利用した垂直移動機構の開発 : 第1報 試作モデルの構造と動作確認
- 電磁石とセンサに冗長性を有する磁気浮上機構の故障時対処法
- 2P1-N-077 弾性表面波デバイスによる液滴の搬送,混合,霧化(マイクロナノ作業2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- マイクロタンパク質チップの機械物性変化による高感度分析システムの研究 : 第三報 微量フローシステムデバイスの開発
- マイクロタンパク質チップの機械物性変化による高感度分析システムの研究 第二報 マイクロフローセルの水面変動理論的考察
- マイクロタンパク質チップの機械物性変化による高感度分析システムの研究 マイクロフローセルの液面制御に関する研究
- 加振による液流を利用した細胞整列機構の開発
- 312 能動形動吸振器を利用したアクティブ除振装置の開発 : 第1報 : 基本構想(オーガナイズドセッション3 メカニカルシステムのアドバンスト制御)
- ELID研削による回析型光学素子の加工
- ゲルマニウムイマージョングレーティングのマイクロ研削加工
- ELID研削による微細溝加工に関する研究
- A-11-5 水熱合成法によるPZT薄膜を用いた超音波振動子における振動速度限界
- 液滴塗布ヘッド内におけるレーザ生成気泡の挙動観測
- 精密切削による超硬レンズ金型の非球面加工
- ELID研削法の適用効果とシステム
- 弾性表面波モータの駆動特性の改善
- 弾性表面波モータにおける最適加圧
- カップ砥石による球面レンズ金型のELID 創成研削法及び特性
- ELID研削法による新加工技術とその可能性
- 交流駆動両電極形静電モータ
- 矩形波駆動両電極形静電モータ
- 1P1-S-084 静電誘導を用いた三相交流駆動両電極形静電モータ(アクチュエータの機構と制御2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 摩擦力制御を用いた静電皮膚感覚ディスプレイ
- 真空環境用静電リニアモータの開発
- ニオブ酸リチウムウエハのELID研削特性