マイクロフローセルのための静電容量型高分解能変位計の開発
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-09-01
著者
-
樋口 俊郎
東京大学大学院工学研究科
-
山形 豊
理化学研究所
-
牧野内 昭武
理化学研究所
-
井上 浩三
フューエンス
-
山形 豊
理化学研究所中央研究所
-
金 俊完
理研:東大
-
金 俊完
東京大学大学院
-
林 漢錫
理化学研究所
-
井上 浩三
(株)エス ティ リサーチ
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