切削加工によるマイクロパーツ製作の試み(第4報 圧電薄膜によるマイクロアクチュエーター製作の試み)
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概要
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- 1995-09-01
著者
-
樋口 俊郎
東京大学大学院工学研究科
-
西沖 暢久
(株)ミツトヨ
-
樋口 俊郎
東京大学
-
三原 慎一郎
神奈川科学技術アカデミー
-
山形 豊
神奈川科学技術アカデミー
-
三原 慎太郎
三菱電線工業
-
西沖 暢久
ミツトヨ
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