PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第6報) -さらなる小型化に向けて-

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概要

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• 1999-03-05

著者

• 森田 剛

  東京大学大学院新領域創成科学研究科

• 樋口 俊郎

  東大・工

• 森田 剛

  東大・工

• 黒澤 実

  東大・工

• 森田 剛

  東京大学

• 森田 剛

  東大

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