ランジュバン振動子を2個使用したV型超音波モータの低速制御性の改善
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概要
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ランジュバン振動子を2個用いたV型超音波モータの駆動原理を検討し2相駆動から単相駆動に変えることによって低速制御性を改善した。低速制御性が向上した結果、フィードバックコントロールが可能となった。単相駆動による特性は、速度は1500mm/sec以上が得られ、1000mm/secで駆動中の速度偏差は0.2%程度であった。10nmのステップ駆動も可能で1nmの分解能が観測された。粗動モードと微動モードを組み合わせることによって目標位置に対して±1nmで静定することができるようになった。
- 2007-09-20
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