Ti製受音膜裏面に水熱合成PZT多結晶膜を成膜した堅牢ハイドロホンの特性改善のための検討(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
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概要
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我々の開発した耐キャビテーション・ハイドロホンは、超音波洗浄器の水槽中やHIFU治療装置の集束音場のようなキャビテーションの発生を伴う強力な超音波音場中でも壊れることなく長時間にわたって計測可能であることを確認できた。しかしながら、HIFU装置の焦点に設置したにもかかわらず試作ハイドロホンの出力波形が非線形歪みの小さな正弦波状の波形しか観測できなかった。これは、ハイドロホンの高周波域における受波感度が低いためと考えられる。そこで、等価回路を用いた数値計算に基づいてハイドロホンの特性解析を行った結果、Ti膜前面板の厚さを現在の50μmから5μm以下に変更することが望ましいことがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2011-01-13
著者
-
川島 徳道
桐蔭横浜大学工学部
-
黒澤 実
東京工業大学
-
黒澤 実
東大・工
-
吉村 一穂
桐蔭横浜大学大学院 工学研究科 医用工学専攻
-
内田 武吉
産業技術総合研究所, 計測標準研究部門
-
菊池 恒男
産業技術総合研究所, 計測標準研究部門
-
黒澤 実
東京工業大学総合理工学研究科
-
川島 徳道
桐蔭横浜大学大学院工学研究科
-
川島 徳道
桐蔭横浜大学医用工学部
-
竹内 真一
桐蔭横浜大学・工学部・医用工学科
-
川島 徳道
桐蔭横浜大
-
黒澤 実
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
菊池 恒男
産業技術総合研究所nmu(計測標準研究部門)
-
内田 武吉
産業技術総合研究所nmu(計測標準研究部門)
-
八木 瞳
桐蔭横浜大学医用工学部臨床工学科
-
吉村 一穂
桐蔭横浜大学医用工学部臨床工学科
-
川島 徳道
桐蔭横浜大学医用工学部臨床工学科
-
菊池 恒男
産業技術総合研究所NMIJ(計測標準研究部門)
-
竹内 真一
桐蔭横浜大学
-
内田 武吉
産業技術総合研究所NMIJ(計測標準研究部門)
-
竹内 真一
桐蔭横浜大
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