チタン箔に水熱合成PZTを成膜した小型メンブレン型ハイドロホンの試作
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概要
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水熱合成法によるPZT多結晶膜は広帯域な周波数特性を持つ超音波プローブが実現可能な上に基材がチタンであれば複雑な形状や微小なものにも成膜が可能である。これに着目し、当研究室では微小なチタンワイヤの端面にPZT多結晶膜の成膜を行い、小型ニードル型ハイドロホンの開発とその評価を行ってきた。しかし、従来型ハイドロホンは受波感度の周波数特性に経方向の共振が原因と思われる不要なピークやディップが大きく見られた。また強力超音波に対しては構造上、すぐに壊れてしまうと考えられる。本研究では周波数特性の改善及び、HIFU(高密度焦点式超音波)装置や超音波洗浄器等の強力超音波の測定でも壊れないことを目的とした小型メンブレン型ハイドロホンを試作したので報告する。
- 2009-07-10
著者
-
川島 徳道
桐蔭横浜大学工学部
-
黒澤 実
東京工業大学
-
竹内 真一
桐蔭横浜大学医用工学専攻
-
黒澤 実
東工大総理工
-
黒澤 実
東大・工
-
吉村 一穂
桐蔭横浜大学大学院 工学研究科 医用工学専攻
-
内田 武吉
産業技術総合研究所, 計測標準研究部門
-
菊池 恒男
産業技術総合研究所, 計測標準研究部門
-
黒澤 実
東京工業大学総合理工学研究科
-
川島 徳道
桐蔭横浜大学大学院工学研究科
-
川島 徳道
桐蔭横浜大学医用工学部
-
竹内 真一
桐蔭横浜大学・工学部・医用工学科
-
川島 徳道
桐蔭横浜大
-
菊池 恒男
産業技術総合研究所nmu(計測標準研究部門)
-
内田 武吉
産業技術総合研究所nmu(計測標準研究部門)
-
吉村 一穂
桐蔭横浜大学医用工学部臨床工学科
-
黒澤 実
東京工業大学 総合理工学研究科
-
竹内 真一
桐蔭横浜大学
-
竹内 真一
桐蔭横浜大
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