微小駆動時における弾性表面波モータのメカニクス
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概要
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弾性表面波モータの,100nm以下の範囲でのステップ駆動時における機械的動作を測定し,検討を行った.微小駆動時には,可動部中の弾性変形が機械的な出力に大きな影響を与える.実際,対象系の可動部は弾性変形要素により,2自由度振動系として振る舞っていた.弾性変形要素を考慮した可動部の物理モデリングを行い,測定結果に対しFFT解析,振動減衰へのフィッティングを行うことで,モデル中のパラメータ値を同定した.同定したモデルを用いてシミュレーションを行い,測定結果と比較し,全般的な傾向を再現できたことを確認した.しかしながら高精度のモデリングのためには,非線形要素を考慮する必要性があることも同時に示された.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-12-09
著者
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