先鋭化ファイバーを接着した水熱合成法PZT膜プローブセンサ
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概要
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本研究ではAFMに準ずる分解能を持ち、比較的低接触力で広範囲を高速に測定可能であるような表面形状測定装置用センサの実現を目指しており、圧電縦振動を利用した、水熱合成法によるPZT薄膜の加振型接触センサの開発を行う。今回、センサ先端の先鋭化を図る為に、プローブとなる振動子の先端に、切断した近接場光顕微鏡用のファイバープローブを取り付けたところ、接着後の振動子特性は共振周波数が284.93kHz、Q値が1617となった。また、この振動子を用いて、回折格子を試料として表面形状測定を行ったところ、高分解能な形状像を得ることができた。そして、このとき得られた結果より、センサの垂直方向分解能は4.0nmとなった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-04-08
著者
-
黒澤 実
東京工業大学
-
黒澤 実
東京工業大学 総合理工学研究科 電子機能システム専攻
-
黒澤 実
東京工業大学総合理工学研究科物理情報システム専攻
-
神田 岳文
岡山大学 工学部 システム工学科
-
田村 宙
東京工業大学 総合理工学研究科 電子機能システム専攻
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